擴散硅壓力變送器是一種基于壓阻效應原理工作的壓力測量設備，廣泛應用于工業自動化控制領域。其核心部件為擴散硅壓力敏感元件，通過集成工藝將單晶硅片制成應變電阻并構成惠斯登電橋。當被測介質壓力作用于傳感器膜片時，膜片產生與壓力成正比的微位移，導致電阻值變化，電子線路將該變化轉換為標準電信號輸出。

　　擴散硅壓力變送器憑借其高性能、高可靠性和易用性，在石油、化工、電力、食品醫藥等行業的氣體或液體壓力測量中發揮著關鍵作用。

　　擴散硅壓力變送器其主要組成部分及功能解析：

　　1、敏感元件（擴散硅芯片）

　　結構與原理：

　　采用集成電路工藝，在硅晶圓上擴散形成應變電阻（惠斯通電橋），當壓力作用于芯片時，硅膜片產生形變，電阻值隨應力變化而改變。

　　典型特性：厚度僅幾微米至幾十微米，靈敏度高，可檢測微小壓力變化（如毫巴級）。

　　關鍵優勢：

　　高精度：電阻變化與壓力呈線性關系，測量誤差可控制在±0.1%FS以內。

　　長期穩定性：無機械磨損，老化速度慢，適合長期使用。

　　溫度敏感性：通過摻雜和結構優化，降低對環境溫度的依賴（需配合溫度補償電路）。

　　2、隔離與封裝結構

　　隔離膜片：

　　位于傳感器前端，直接接觸被測介質（如氣體、液體），保護硅芯片免受腐蝕或污染。

　　材料：不銹鋼、哈氏合金（C-276）或氟橡膠（FKM），適應腐蝕性介質（如酸堿、油類）。

　　充油腔體：

　　硅芯片與隔離膜片之間填充硅油，傳遞壓力并緩沖沖擊，防止介質泄漏至芯片側。

　　作用：提高抗過載能力（如承受瞬間2倍量程壓力），延長器件壽命。

　　3、信號調理電路

　　惠斯通電橋：

　　將硅芯片的電阻變化轉換為毫伏級差分電壓信號（典型值：0-50mV）。

　　放大與補償電路：

　　放大器（如OPA運放）：放大微弱信號至標準范圍（如0-5V或4-20mA）。

　　溫度補償：內置熱敏電阻或二極管，修正溫度引起的零點漂移和靈敏度變化。

　　線性化處理：通過硬件或軟件校準，優化輸出信號的線性度。

　　4、電源與輸出模塊

　　供電方式：

　　通常為12-36V DC（二線制4-20mA回路供電），部分型號支持低功耗設計（如3.3V）。

　　輸出信號：

　　模擬信號：4-20mA（工業標準）、0-5V/0-10V（兼容數據采集系統）。

　　數字信號：HART、RS485（支持多設備組網）、I²C（用于嵌入式系統）。

　　智能功能：部分型號集成AD轉換器，直接輸出數字量（如SPI接口）。

　　5、機械與電氣接口

　　壓力接口：

　　螺紋連接：G1/2、G1/4等標準螺紋，用于管道或容器安裝。

　　衛生級卡箍：適用于食品、制藥行業，避免介質殘留。

　　電氣接口：

　　航空插頭（M12、M8）、鳳凰端子或電纜格蘭頭，滿足防爆、防水需求（如IP67防護等級）。

　　6、附加功能模塊

　　溫度傳感器：

　　集成PT100或NTC熱敏電阻，同步監測環境溫度，用于復雜工況下的補償計算。

　　顯示與調試單元：

　　LCD/LED顯示屏：實時顯示壓力值或故障代碼（如“OVER PRESSURE”）。

　　按鍵或軟件接口：支持現場校準、量程設置（如通過HART手操器）。

　　防護與認證：

　　防爆認證：ATEX、FM、IECEx等，適用于石油、化工等危險區域。

　　EMC防護：屏蔽層、濾波電路，抵抗電磁干擾（如工業變頻器環境）。

　　7、外殼與附件

　　材質與結構：

　　主體采用316L不銹鋼或鋁合金，兼顧強度與輕量化。

　　密封設計：O型圈或氟橡膠墊片，確保防水、防塵（如IP65/IP67）。

　　安裝配件：

　　導管、法蘭、支架等，便于固定在管道、面板或機械設備上。

　　示例：DIN導軌安裝型變送器適用于控制柜集成。